微細加工技術雜志簡介
- 主管單位：信息產業部
- 出版周期：雙月刊
- 出版語言：中文
- 主辦單位：中國電子科技集團公司第48研究所
- 國際刊號：1003-8213
- 類別：電子
- 創刊時間：1983
- 國內刊號：43-1140/TN
- 出版地區：湖南
- 曾用名：微細加工技術
- 郵編：410111
《微細加工技術》是一本由中國電子科技集團公司第48研究所主辦的電子學術刊物，該雜志為雙月刊，面向國、內外公開發行。主要報道電子相關領域的研究成果與實踐，該雜志的創辦有利于國內外同行探討有創新的學術觀點，加強國內外同行學術交流。本刊將及時推出該領域的新理論、新技術、新成果，使國內外同行能及時、方便地查閱、引用，為電子研究事業的發展作貢獻。
《微細加工技術》雜志一級發文領域主要有：電子電信、自動化與計算機技術、理學、一般工業技術、機械工程、電氣工程、金屬學及工藝、化學工程、動力工程及工程熱物理、核科學技術。二級發文領域主要有：電子電信 / 物理電子學、電子電信 / 微電子學與固體電子學、自動化與計算機技術 / 控制科學與工程、自動化與計算機技術 / 檢測技術與自動化裝置、理學 / 物理、一般工業技術 / 材料科學與工程、理學 / 固體物理、金屬學及工藝 / 金屬學、機械工程 / 光學工程、電子電信 / 信息與通信工程。該雜志與時俱進，開拓進取，保持優勢，敢于爭先，開設了綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術等欄目，反映電子領域科研成果和電子實踐經驗，為電子工作者和研究人員提供業務交流和學術成果的發布平臺。
微細加工技術期刊榮譽
微細加工技術歷史收錄
- Scopus數據庫（2021）
學術熱點分析
主要資助項目分析
| 序號 | 資助項目 | 文獻量 |
| 1 | 國家自然科學基金 | 256 |
| 2 | 國家高技術研究發展計劃 | 65 |
| 3 | 國家重點基礎研究發展計劃 | 54 |
| 4 | 國家教育部博士點基金 | 17 |
| 5 | 國家重點實驗室開放基金 | 15 |
| 6 | 山東省自然科學基金 | 13 |
| 7 | 中國科學院知識創新工程 | 11 |
| 8 | 中國博士后科學基金 | 10 |
主要資助課題分析
| 序號 | 資助課題 | 文獻量 |
| 1 | 國家自然科學基金(90307003) | 13 |
| 2 | 山東省自然科學基金(Y2003G03) | 12 |
| 3 | 國家重點基礎研究發展計劃(2003CB716204) | 7 |
| 4 | 國家自然科學基金(59671051) | 7 |
| 5 | 山東省科技攻關計劃(022090105) | 7 |
| 6 | 國家高技術研究發展計劃(2004AA404260) | 5 |
| 7 | 國家高技術研究發展計劃(2003AA404150) | 4 |
| 8 | 國家自然科學基金(10572078) | 4 |
主要發文機構分析
| 序號 | 機構名稱 | 發文量 |
| 1 | 中國科學院 | 192 |
| 2 | 上海交通大學 | 129 |
| 3 | 清華大學 | 60 |
| 4 | 中國科學技術大學 | 47 |
| 5 | 電子工業部 | 46 |
| 6 | 中國科學院微電子研究所 | 38 |
| 7 | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 | 34 |
| 8 | 山東大學 | 29 |
相關發文主題分析
| 序號 | 相關發文主題 |
| 1 | 光刻；電子束曝光；曝光機；電子束曝光機；掩模 |
| 2 | 微機電系統；電系統；機電系統；MEMS；刻蝕 |
| 3 | 微細；光刻；微細加工；離子束；聚焦離子束 |
| 4 | 刻蝕；離子束；離子束刻蝕；光刻；衍射 |
| 5 | 離子注入；注入機；離子注入機；半導體；電路 |
| 6 | 光刻；掩模；X射線光刻；電子束曝光；分辨率 |
| 7 | 光柵；MEMS；刻蝕；光刻；傳感 |
| 8 | 電子束；電子束曝光；曝光機；電子束光刻；電子束曝光機 |
微細加工技術期刊文獻
- 電子束光刻的快速鄰近效應校正 作者：宋會英; 張玉林; 于肇賢; 郝慧娟；中國石油大學(華東)計算機與通信工程學院; 山東東營; 257061; 山東大學; 控制學院; 電子束研究所; 濟南; 250061; 北京信息科技大學; 理學院; 北京; 100101; 山東大學; 控制學院; 電子束研究所; 濟南; 250061；
- 基于遺傳算法的顯影速率參數確定 作者：郝慧娟; 張玉林; 魏強; 盧文娟；山東大學; 控制學院; 電子束研究所; 濟南; 250061; 山東大學; 控制學院; 電子束研究所; 濟南; 250061; 山東大學; 控制學院; 電子束研究所; 濟南; 250061; 山東大學; 控制學院; 電子束研究所; 濟南; 250061；
- GCA3600F圖形發生器數據處理技術的改進與應用 作者：葉紅; 陳寶欽；中國電子科技集團公司第55研究所; 南京; 210016; 中國科學院微電子研究所; 北京; 100029；
- 浸沒式ArF曝光過程中液體熱性能分析 作者：樊明哲; 李艷秋；中國科學院電工研究所; 北京; 100080; 中國科學院研究生院; 北京; 100039; 中國科學院電工研究所; 北京; 100080；
- 掩模移動曝光系統精密定位工件臺研制 作者：佟軍民; 胡松; 余國彬；中國科學院光電技術研究所; 成都; 610209; 中國科學院研究生院; 北京; 100039; 河南許昌職業技術學院; 許昌; 461000; 中國科學院光電技術研究所; 成都; 610209; 中國科學院光電技術研究所; 成都; 610209；
- 采用激光制備毛細管電泳芯片微結構的研究 作者：劉瑩; 姚李英; 劉世炳; 吳堅; 陳濤；北京工業大學; 激光工程研究院; 北京; 100022; 北京工業大學; 激光工程研究院; 北京; 100022; 北京工業大學; 激光工程研究院; 北京; 100022; 北京工業大學; 激光工程研究院; 北京; 100022; 北京工業大學; 激光工程研究院; 北京; 100022；
- 利用平滑層減小極紫外多層膜基底粗糙度的方法 作者：張立超; 金春水；中國科學院長春光學精密機械與物理研究所; 應用光學國家重點實驗室; 長春; 130033; 中國科學院研究生院; 北京; 100039; 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所; 應用光學國家重點實驗室; 長春; 130033；
- 聚酰亞胺薄膜表面微納米尺度下電荷特性的研究 作者：趙慧斌; 任權; 韓立；中國科學院電工研究所; 北京; 100080; 中國科學院研究生院; 北京; 100049; 中國科學院電工研究所; 北京; 100080; 中國科學院電工研究所; 北京; 100080；
